為什么羅茨真空泵配合前級(jí)泵飒泻?原因在這里
羅茨真空泵一般分成兩大類泞遗,一類為干式羅茨泵,一類為濕式羅茨泵席覆。濕式羅茨泵不配前級(jí)泵史辙,而干式羅茨泵則需要配前級(jí)泵組成機(jī)組。所以袄优,在談到運(yùn)行時(shí)鹏愚,必然要聯(lián)系到羅茨泵機(jī)組。
組成羅茨泵機(jī)組紫掷,羅茨泵與前級(jí)泵的抽速比的選擇是很重要的味羡。如前所述,羅茨泵的壓縮比很有限伯梧。當(dāng)入口壓強(qiáng)在100Torr一直到大氣壓時(shí)院蜘,壓縮比為2.15;當(dāng)入口壓強(qiáng)為10的負(fù)一次方Torr,壓縮比可達(dá)40惊眠。
在考慮機(jī)組組成時(shí)纳傍,首先要考慮羅茨泵入口壓強(qiáng)范圍,假設(shè)是10Torr手欣,可知最大容許壓縮比為8疫壕。這一壓縮比決定若前級(jí)泵的容量,因壓縮比是兩者抽速的反比癞樊。一般壓縮比在2?10內(nèi)選取秸谢。
另外,應(yīng)當(dāng)考慮對(duì)預(yù)抽時(shí)間的要求霹肝。真空設(shè)備是作為輔助設(shè)備應(yīng)用于各種機(jī)械設(shè)備中的估蹄,如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng)塑煎,可選較小的前級(jí)泵(壓縮比可大些)•假若真空室較大,而且要求很快預(yù)抽臭蚁,就用較大的前級(jí)泵最铁。有時(shí)為了更好地發(fā)揮設(shè)備的效率,機(jī)組前裝有一臺(tái)較大的預(yù)抽泵垮兑,工作正常后再關(guān)掉它冷尉。h d F J 1 1 . C OM
為了提高真空度,有時(shí)把兩個(gè)羅茨泵串聯(lián)使用系枪,選二者的抽速比為2?5雀哨。如果壓縮比選大了,前級(jí)泵就很小私爷,不利于系統(tǒng)的預(yù)抽雾棺,而且當(dāng)?shù)谝患?jí)羅茨泵反壓強(qiáng)提高時(shí),容易造成第二級(jí)羅茨泵超負(fù)荷痒仇。
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